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1100℃磁場(chǎng)爐(外徑Φ100mm)
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四電弧單晶生長(zhǎng)系統(tǒng)(4電弧熔樣品,3000℃,可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷銅坩堝)
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1200℃&130管徑mistcvd系統(tǒng)
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1400℃爐門(mén)和門(mén)堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:36L,高溫開(kāi)門(mén)取放樣,無(wú)門(mén)堵)
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1400℃爐門(mén)和門(mén)堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:19L,高溫開(kāi)門(mén)取放樣,無(wú)門(mén)堵)
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1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(tǒng)(HVPE)
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1400℃爐門(mén)和門(mén)堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:3.4L,高溫開(kāi)門(mén)取放樣,無(wú)門(mén)堵)
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1400℃爐門(mén)和門(mén)堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:8L,高溫開(kāi)門(mén)取放樣,無(wú)門(mén)堵)
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1200℃梯度可調(diào)提拉式晶體爐
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900℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐(配備不銹鋼異形耐壓管,最大壓力0.1MPa)
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1200℃手套箱連體管式爐系統(tǒng)
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10T電動(dòng)無(wú)油壓力機(jī)
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分體式蒸發(fā)鍍膜儀(可放入手套箱)
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1200℃高溫霧化熱腐蝕爐
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1100℃&6英寸CVD系統(tǒng)(鈦合金法蘭、防腐型)
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方形壓片模具(可定制,最大尺寸80×80mm)
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三管式爐連接手套箱系統(tǒng)(H2O&O2<1PPM)
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800℃&0.1MPa不銹鋼防腐回轉(zhuǎn)爐
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750℃&5T真空平板熱壓機(jī)
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1500℃快速升降溫提拉爐(雙溫區(qū)、管徑可選)
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900℃不銹鋼耐腐回轉(zhuǎn)爐
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1200℃超聲霧化PECVD系統(tǒng)(超聲頻率40KHZ)
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高溫高壓爐
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自動(dòng)化16通道固體粉料分配機(jī)構(gòu)