產品名稱 | ·開啟式納米線生長CVD爐--OTF-1200X-4-NW |
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產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 |
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視頻 | 儀表操作視頻 |
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產品特點 | OTF-1200X-100單區管式爐: ·采用ABB電器元件 ·右側可滑動支架的法蘭,方便操作 ·采用雙層殼體結構并帶有風冷系統 ·右側水冷法蘭可滑動,便于樣品裝載 ·加熱器與爐子之間的左側水冷法蘭能夠更好的密封 ·爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能很大程度減少能量損失提高加熱效率和增加爐膛使用壽命 ·左側的預熱系統可對輸入的氣體、液體、固體或混合物進行預加熱,然后通入CVD爐中。 ·預熱裝置的最高工作溫度:600℃ ·左側法蘭作為氣體通道的同時起到密封作用(詳細結構請看下圖) 右側活動法蘭 結構示意圖 |
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基本參數 | 加熱爐: ·最高溫度: 1100℃(≤30min) 工作溫度: 1000℃ ·推薦升溫速率:≤10℃/min ·加熱區:440 mm ·熱偶:K型熱偶 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金 ·電壓:220V, 額定功率:4KW 預熱裝置: ·連續工作溫度: 0~300°C ·最快升溫和降溫速度: 10°C/min ·加熱區:150 mm 更多參數請聯系我們 |
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真空和密封法蘭 | CVD爐: ①右法蘭: ·水冷可避免密封圈融化 ·KF25真空快接更加方便(可與真空泵、波紋管、真空閥等連接) ·滑動使操作更簡單:樣品可快速的放入和取出 ·一個石英樣品支架 ( 3英寸 ):與石英擋板滑動法蘭連成一體 ②左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間):裝有4個 1/4英寸卡套連結的通氣管: ·法蘭上有兩個獨立 1/4英寸接口,可單獨將任何氣體通入CVD爐 ·其中一路通過1/4英寸接口將預熱氣體通入CVD爐 ·另外一路通過1/4英寸口將不加熱的氣體通入CVD爐(在 CVD 爐內, 通過“T”型結構與加熱氣體匯合。) |
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爐體結構&溫控 | ·CVD爐體加熱和前驅體(單獨控溫): ·具有PID/自整定功能和50段可編程的數字控制器 ·熱電偶:K型熱電偶,通過右側法蘭進料,控制爐溫。 ·控溫精度:+/-1°C |
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真空度 | ·機械泵:10^-2 torr ·分子泵:10^-5 torr |
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產品尺寸 | ·1200(L)X450(W)X600(H)mm ·重量約:110kg |
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認證 | ·此產品已通過CE認證 證書編號: M.2021.206.C67997 ·若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
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質保期 | ·一年保修,終身技術支持。 ·特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
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產品在線展示 |
應用技術提示 | ·購買前請聯系我們,確定進出氣口以及閥門種類 ·由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊并同時保護爐內溫場。 ·石英管的長時間使用溫度<1100℃ ·設備使用過程兩邊添加管堵,保證恒溫區和法蘭密封性 ·為了獲得更高的潔凈度和真空度,請選用石英管 |
警示 | ·不要將裝有溶液的容器放在儀器上,防止造成儀器短路 ·如需高溫取樣,請務必穿戴好安全裝置 ·爐管內氣壓不可高于0.02MPa ·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |