設備名稱型號 | · 1200℃升華沉積收集系統 OTF-1200X-III-80 |
電源&功率 | · AC 220V 50/60HZ · 9.5KW |
爐管與進氣管 | · 設備標配一根異形的石英管,在長度1200mm處垂直向下 · 石英管尺寸:外徑80*壁厚3*長1200/1000mm · 法蘭的進氣口內部安裝了一個單端開口,石英材質的進氣管,尺寸:外徑8*壁厚1.5*長180mm。進氣管末端有一些通孔,使氣體能分散噴出 · 在氣體預熱爐爐膛內安裝了一個多孔石英擋板,有六層,每層間隔80mm,總尺寸:φ70*404mm。多孔石英擋板能減緩氣體在爐管內的流動,使氣體能充分加熱 |
氣體預熱爐參數 | · 電源:AC 220V 50/60HZ · 最高加熱溫度:1100℃(<30min) · 長期使用溫度:1000℃ · 加熱區長度:400mm · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件:電阻絲 · 熱電偶:K型 |
氣體保溫爐參數 | · 此保溫爐用于氣體保溫和爐管轉折處保溫氣體,為分瓣式,設備左側與下部帶有圓形弧口,將爐管包裹。分為兩段,一段直管子,加熱區長度400mm · 電源:AC 220V 50HZ · 最高加熱溫度:1200℃(<30min) · 長期使用溫度:1100℃ · 加熱區尺寸:直管部分長度400mm,轉折處長度:200*200*200mm · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件:電阻絲 · 熱電偶:K型 |
立式管式爐參數 | · 電源:AC 220V 50HZ · 最高溫度:1200℃(<1h) · 連續工作溫度:1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 熱電偶:K型 · 加熱元件:電阻絲 · 加熱區長度:400mm |
不銹鋼密封系統 | · 一對316L材質的不銹鋼密封法蘭安裝在爐管兩端 · 左端法蘭上有兩個316L材質的進氣口,一個為工作氣體進氣,一個為惰性氣體進氣口,兩個進氣口分別通過一個不銹鋼針閥手動控制進氣的通斷;安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內壓力,一個KF16接口上安裝了一個數顯防腐真空計 · 下法蘭上含有一個316L材質的出氣口,通過一個316L材質的隔膜閥控制出氣的通斷;安裝了一個安全泄壓閥,當爐管內氣壓達到上限壓力時,安全閥自動打開排氣;一個KF25接口為抽真空接口,通過波紋管與真空系統連接,(出氣口、排氣口需安裝尾氣處理裝置,處理裝置客戶自備);一個KF50接口與收料罐組件上的球閥連接
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收集罐組件 | · 立式爐底部法蘭采用快速連接的方式安裝了兩個球閥,兩個球閥底部與收集罐連接;球閥與收集罐均為316L材質 · 收集罐尺寸約:φ166*290mm(高) · 收料罐上蓋另有一個KF接口,可用于連接其他檢測設備 · 一個可伸縮的升降平臺放置在收料罐底部,可調節收料罐與爐管法蘭的間距 |
溫控系統 | · 預熱爐、保溫爐與立式高溫爐都包含一款858P型溫度控制器;分別獨立控溫,控制系統集中在控制柜上,控制柜與設備為分體式,通過信號線連接,能遠距離控制設備 · 智能化50段可編程控制 · 內置過熱保護和熱電偶故障報警 · 控溫精度:±1℃ · 默認DB9 PC通信連接端口 · 通過MET認證 · 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據 |
真空系統(選配) | · 型號:VRD-8 · 抽氣速率:2.2 L/S · 電機功率:370 W · 極限壓強:5×10-1Pa(不帶負載) · 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統 |
設備外形尺寸 | · 1200℃升華沉積系統:1800*600*2050 mm(長*寬*高) · 控制柜:610*650*1360 mm(長*寬*高) |
重量 | ·約345KG |
質保 | · 一年質保期,終生維護 · 特別提示: 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 |
注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓); · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; · 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。 |