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1200℃小型流化床CVD爐(帶1英寸外徑石英管和法蘭,用于粉末CVD)
型號(hào):
OTF-1200X-S-FB
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式爐,專門針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn),爐管為高純石英管,爐管內(nèi)部嵌有一多空石英板,石英板的孔徑為5-15um,粉末可放在多空石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過(guò)多空石英板是樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱型號(hào)

· 1200℃小型流化床CVD爐(帶1英寸外徑石英管和法蘭,用于粉末CVD)  OTF-1200X-S-FB


爐體結(jié)構(gòu)

· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

· 爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,最大程度的減少能量損失

· 內(nèi)爐膛表面涂油美國(guó)進(jìn)口1750度高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

· 爐體設(shè)計(jì)為開啟式,方便更換爐管

· 專門針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)


基本參數(shù)

· 電源:AC220V 50/60HZ

· 功率:1.2KW

· 最高溫度:1200℃

· 長(zhǎng)期工作溫度:1100℃

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 熱電偶:K型

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度:200mm


爐管

· 材質(zhì):采用高純特制石英爐管

· 尺寸:兩端φ25mm(中間φ50mm)長(zhǎng)度482mm

· 多空石英板孔徑:10-15微米 尺寸:φ22mm*4mm厚

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溫控系統(tǒng)

· 包含一款858型溫度控制器

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制

· 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

· 通過(guò)MET認(rèn)證


不銹鋼密封系統(tǒng)

· 上端法蘭安裝了一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為出氣口使用,一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷,安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力,一個(gè)鎧裝接口為備用接口

· 下端法蘭上的一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用。一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷


真空系統(tǒng)(選配)

· 采用雙旋片式機(jī)械泵真空度可以達(dá)到10-2toor

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor 或更高)可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

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設(shè)備外形尺寸

· 340mm(L)*300mm(W)*1300mm(H)(長(zhǎng)度包含爐管與法蘭)


重量

· 約20KG


質(zhì)保

· 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

· 特別提示:

1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)



使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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