| 設(shè)備名稱型號 | ·800℃立式超聲霧化輔助CVD系統(tǒng) Msit-CVD-800X |
||||||||
| 基本參數(shù) | · 電源：AC 220V 50HZ · 功率：3.3KW |
||||||||
| 控制面板 | · 所有參數(shù)都通過7英寸觸摸屏設(shè)置， · 可以設(shè)置加熱平臺和硅膠加熱帶的溫度 · 可實時顯示腔體內(nèi)部真空度 |
||||||||
| 超聲霧化系統(tǒng) | · 設(shè)備中含有一臺超聲霧化裝置 超聲霧化裝置： · 220VAC ，1.7MHz · 液體罐標配為聚四氟乙烯材質(zhì)（其它材質(zhì)的罐子可以與銷售聯(lián)系進行定制），并采用氟膠密封圈密封； · 罐蓋上設(shè)有一個進氣口和一個出霧口，進氣口通過聚四氟管與氣瓶相連，出霧口通過水管連接到設(shè)備內(nèi)部。 · 可設(shè)置1-3檔霧化量，通過調(diào)節(jié)檔位大小，控制霧化量的多少； 霧化檔位和進液量相對應(yīng)關(guān)系（僅供參考）如下表，溶液的濃度和進氣量的大小會對此有影響。具體大小根據(jù)實際情況來定。
· 可實現(xiàn)連續(xù)運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調(diào) · 霧化片尺寸：1.2mm×φ20
注射泵： · 標配一套液體注射泵，用于自動進液 · 標配一個最大容積為60ml的注射針筒用于盛放溶液 · 線速度范圍：6.1um-120mm/Min · 注射液體速度：3.9ul-76.5ml/min（按照60ml注射器計算） · 適用注射器類型：10ul-60ml · 控制精度：當＞30%滿程時，控制誤差≤±0.3% |
||||||||
| 氣體/蒸汽分散噴頭 | · 材料：哈式合金 · 噴頭直徑：4英寸；噴孔直徑：0.5mm， · 氣體流量：0.2-2L · 噴頭頂部有兩個進氣口，一個進氣口的一端與超聲霧化裝置的出氣口（霧化氣口）連接；另外一個進氣口與設(shè)備背面的出氣口2連接。 兩個進氣口管道都纏繞有硅膠加熱帶，實現(xiàn)對氣口的加熱，加熱帶最高加熱溫度：100℃。
· 氣體分散噴頭特殊的流道設(shè)計，可使氣體/蒸汽均勻的傳遞和分散到沉積腔體中
· 噴頭與樣品臺之間的距離20-80mm可調(diào)，旋松接頭上的螺母，即可調(diào)節(jié)噴頭的上下距離。 |
||||||||
| 樣品臺 | · 4英寸加熱的樣品臺，樣品臺頂部的蓋板為哈氏合金材質(zhì)（用于在高溫下提高耐腐蝕性能） · 溫度：最高溫度700℃（＜1h）；長期使用溫度：600℃ · 控溫精度：±5℃，可實現(xiàn)28段程序PID控溫； · 可放入樣品最大尺寸：φ100mm · 樣品臺可旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度1-5RPM（可調(diào)）
|
||||||||
| 真空腔室 | · 石英腔室尺寸：約166 mm 外徑 X 150 mm 內(nèi)徑 x 250 mm高度 · 通過不銹鋼材質(zhì)的法蘭密封，確保腔體真空度：10-5torr（分子泵系統(tǒng)），10-2Torr(機械泵） · 法蘭上含有兩個φ6.35mm的雙卡套接頭，一個為進氣口，一個為出氣口，分別通過一個不銹鋼針閥控制氣體的通斷； 一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察腔體內(nèi)部壓力;一個KF16接口安裝了一個數(shù)顯防腐真空計 · 腔體底部有一個KF25接口為抽真空接口，可通過不銹鋼波紋管與真空系統(tǒng)連接（波紋管與真空系統(tǒng)客戶自備） · 腔室外部包裹了一個陶瓷加熱環(huán)，最高加熱溫度為150℃。陶瓷加熱環(huán)上留有觀察窗口，可以觀察到樣品臺上的基片。
· 腔體底部法蘭帶有傾斜角度，在平面度最低的位置留有排水口，使霧化的冷凝水能從排水口流出，流出的冷凝水通過排水管流入到收集器內(nèi)，一個球閥控制排出。
|
||||||||
| 設(shè)備外形尺寸 |
|
||||||||
| 重量 | ·約180KG |
||||||||
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護 · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項 | · 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。 |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
查看誠信檔案
