| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/a> 4、配件妥善保管提示 |
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| 名稱 |
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| 主要參數(shù) |
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| 濺射頭&樣品臺 |
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 |
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| 濺射電源 |
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| 靶材 |
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| 濺射腔體 | ? 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD×150 mm ID×250 mm H ? 密封法蘭:直徑為174 mm，采用金屬制作，密封采用O形密封圈 |
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| 真空系統(tǒng) | ? 安裝有KF25真空接口 ? 數(shù)字真空壓力表（Pa） ? 此系統(tǒng)運(yùn)行可通入氣體運(yùn)行（可在本公司選購各種真空泵） （1）采用機(jī)械泵<1.0E-2 Torr（參考值，詳情請點(diǎn)擊） （2）采用渦旋分子泵<1.0E-5 Torr（參考值，詳情請點(diǎn)擊） |
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| 產(chǎn)品外形及尺寸 | ? 550*550*1100（長*寬*高） |
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| 進(jìn)氣 | ? 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶 ? 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕，方便調(diào)節(jié)氣流 |
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| 薄膜測厚儀（可選） | ? 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上 |
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| 質(zhì)保 | ? 一年保修，終身技術(shù)支持。 ? 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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| 認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號：M.2021.206.C67994 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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實(shí)驗(yàn)室參考案例 | 科晶實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備做出的部分結(jié)果，以供您參考。詳細(xì)信息，請點(diǎn)擊我們的實(shí)驗(yàn)報告
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室
實(shí)驗(yàn)案例照片（點(diǎn)擊大圖查看詳情）
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應(yīng)用技術(shù)提示
| 1、為了保證濺射效果，非導(dǎo)電靶材必須安裝銅墊塊 2、有時為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 3、為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N） 4、在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 5、要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請?jiān)跒R射前清潔基材表面 6、在分子泵出口安裝有一個可手動操作的擋板 超聲波清洗：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。 |
警示 | 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機(jī)體。 1、1英寸靶頭最大使用功率為100W 2、2英寸靶頭最大使用功率為300W 3、氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 4、濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備后才能進(jìn)行裝樣和更換靶頭等操作。 5、請勿在易燃易爆氣體環(huán)境下使用該設(shè)備 6、請勿在潮濕的環(huán)境下使用該設(shè)備 7、機(jī)體上禁止放置茶杯等裝有液體的器物 8、禁止儀器通電狀態(tài)下去拔插電源插頭 |
配置可選 |
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晶體襯底材料 |
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